徐德辉

徐德辉，中国科学院上海微系统与信息技术研究所副研究员，2006年起开始从事微纳机电系统、微纳技术的研究工作，开发的CMOS-MEMS技术实现圆片级封装非 致冷红外探测微系统，研究的微机械谐振器fQ乘积逼近单晶硅材料的极限，在国际上首次验证了单晶硅声子晶体声波调控减少微机械谐振器能量损耗。 承担基金项目2项，先后参加了02专项、863、973、预研等系列科研项目的研究工作；在微纳技术及器件集成研究方面已发表论文71篇，其中SCI 收录42篇； 授权中国发明专利20项，申请中国发明专利24项；授权美国发明专利2项；申请国际发明专利5项。个人研究成果引起国际学术界的广泛关注， 经常受邀担任IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems、Nanotechnology、IEEE Journal of Sensors、Journal of Micromechanics and Microengineering、IEEE Transactions on Device and Materials Reliability、IEEE Transactions on Industrial Electronics、IEEE Photonics Technology Letters、IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology、Journal of Vacuum Science and Technology、Modern Physics Letters B、Nuclear、Optical Engineering等国际刊物的审稿人。