陈大鹏

陈大鹏，中国科学院微电子所研究员，副所长，博导，先后参与或者主持过多项国家集成电路重大专项、国家自然基金、863计划、973计划、科技攻关等课题；主要从事集成电路制造工艺技术研究，微细加工技术研究，MEMS技术研究。曾获得中组部首批科技创新创业领军人才（万人计划）支持和国务院专家津贴，2014年获得中科院杰出成就奖，现任中科院微电子研究所（以下简称微电子所）副所长兼任中科院物联网研究发展中心副主任。目前承担科研项目情况：(1)“九五”国家重点科技攻关项目97－762“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”的子专题97－762－03 “先进的深亚微米工艺技术”；(2)科学院重大创新方向性项目“电子束缩小投影光刻机（SCALPEL）”的子课题“投影电子束掩模研制”；(3)科技部863项目“多传感器及阵列传感器集成”；(4)科技部863项目“无掩模光刻系统”；(5)科技部863项目；(6)自然基金仪器专项“新型光学读出非制冷红外成像系统”；(7)自然基金“悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究”；(8)中科院知识创新方向性项目。