杉山进

杉山进，立命馆大学全球创新科研机构教授。于名城大学，东京工业大学分别获得学士和博士学位。杉山进教授是日本MEMS技术的先驱，开拓者和领军人物,被誉为“日本MEMS之父”。他带领丰田中央研究所半导体研究所的科学家和技术人员第一次把CMOS和MEMS传感器集成起来，发明了第一代用于汽车安全气囊的加速度传感器，开拓了MEMS产业化的时代。基于速度传感器的汽车安全气囊，成功挽救了无数遭遇车祸的驾车者和乘客，而作为丰田汽车安全气囊传感器的发明人，杉山博士功不可没。杉山进于1997年加入立命馆大学，创立了MEMS加工实验室和参与创建了立命馆同步辐射加工中心,在LIGA技术上作出了巨大贡献，曾与现任上海应用技术学院理学院教授的李以贵博士完成“基于移动LIGA工艺的微针阵列的设计与制作”的研究。杉山进虽年事已高，仍不遗余力地支援一些亚非相对落后国家（如斯里拉卡）的科学研究的发展和基础设施的建设。杉山博士目前还担任上海交通大学的客座教授。